技術(shù)參數(shù)

1. 能量分辨率：Ag3d5/2峰位FWHM < 0.48eV；C1s譜中O=C-O峰位FWHM < 0.82eV 

2. 最小x-ray 束斑：<10.0μm（x軸）；<10.0μm (y軸) 

3. Ar離子濺射槍最大束流：>5.0μA @5kV

4. Ar離子/C60離子濺射槍差分氣壓：< 6.7x10-6 Pa (5x10-8Torr) 

5. Ar氣團(tuán)簇離子槍的最大電流：>40nA @ 20kV 

6. Ar氣團(tuán)簇離子最小束斑：500 μm @ 20 kV

7. 樣品臺的冷熱性能：-140°C~800°C  

應(yīng)用范圍

無機(jī)化合物、合金、聚合物、能源電池、表面缺陷（腐蝕，異物，污染，分布不均等）、表面多層薄膜等